バルブ(SCS14)納入図
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| 型式 | 品名 | |
|---|---|---|
| 1 | N-600 | S式ボールバルブ（レジュースボア） |
| S式ボールバルブ（レジュースボア）（チョウハンドル） | ||
| 2 | N-610 | S式ボールバルブ（レジュースボア） |
| S式ボールバルブ（レジュースボア）（チョウハンドル） | ||
| 3 | N-620 | S式ボールバルブ（フルボア） |
| S式ボールバルブ（フルボア）（チョウハンドル） | ||
| 4 | N-730 | S式三方四面シート（レジュースボア）(Lポート) |
| S式三方四面シート（レジュースボア）(Tポート) | ||
| 5 | J-715 | F式ボールバルブ(10K) |
| 6 | N-755 | F式ボールバルブ(20K) |
| 7 | N-737 | F式三方四面シート（Lポート） |
| F式三方四面シート（Tポート） | ||
| 8 | N-736-11(TYPE11) | F式Y型三方ボールバルブ |
| 9 | N-765 | F式タンクボールバルブ |
| 10 | N-7017 | F式ジャケット型ボールバルブ |
| 11 | N-7037 | F式三方ジャケット型三方四面シート(Lポート) |
| F式三方ジャケット型三方四面シート(Tポート) | ||
| 12 | N-215 | F式フートバルブ |
| F式フートバルブ(レバー付き) | ||
| 13 | N-258 | ウエハーチャッキバルブ |
